D'un point de vue structurel, la cible se compose principalement de deux parties : « le flan de cible » et la « plaque arrière ». Le blanc cible est le matériau cible bombardé par un faisceau ionique à grande vitesse. Il s’agit de la partie centrale de la cible de pulvérisation et implique un contrôle de l’orientation des métaux et des grains de haute pureté. La plaque arrière joue principalement le rôle de fixation de la cible de pulvérisation et implique le processus de soudage. À l'heure actuelle, les matériaux de plaque arrière de cible de pulvérisation courants comprennent principalement les matériaux de plaque arrière de tubes en cuivre sans oxygène, en alliage de cuivre, en molybdène et en acier inoxydable.
1. Raisons de l'installation de la plaque arrière
L'ensemble cible est composé d'une ébauche cible présentant des performances de pulvérisation composées et d'un fond de panier combiné à l'ébauche cible par soudage. Lors du processus de pulvérisation, l'ensemble cible se trouve dans un environnement de travail difficile. Un côté du fond de panier est fortement refroidi par une certaine pression d'eau de refroidissement, tandis qu'un côté de l'ébauche cible se trouve dans un environnement sous vide à haute température, de sorte qu'une énorme différence de pression se forme sur les côtés opposés de l'ensemble cible. De plus, un côté de la cible est bombardé par diverses particules dans un champ électrique à haute tension et un champ magnétique puissant, et beaucoup de chaleur est générée.
Dans un environnement aussi difficile, afin d'assurer la stabilité de la qualité du film et la qualité de l'assemblage cible, la qualité de la billette cible et du fond de panier ainsi que le taux de liaison par soudage deviennent de plus en plus exigeants, sinon il est facile de diriger à la déformation et à la fissuration de l'ensemble cible dans des conditions chaudes, ce qui affecte la qualité du film et endommage même la base de pulvérisation.
2. Matériaux pour la fabrication du fond de panier
La plaque de support est principalement utilisée pour fixer le matériau cible de pulvérisation et doit avoir une bonne conductivité électrique et thermique. Pendant le processus de revêtement par pulvérisation magnétron, la cible doit résister à la fois à la pression de l’eau de refroidissement à l’arrière et à la pression négative du vide à l’avant. Les fonds de panier en cuivre et en alliage de cuivre sont souvent choisis comme plinthes cibles car ils présentent les avantages suivants :
(1) Conductivité thermique élevée : il peut conduire efficacement la chaleur générée sur la surface cible pendant le processus de pulvérisation vers le système de refroidissement. Cela aide à maintenir la température de la cible stable et empêche la fissuration de la cible ou la dégradation des performances due à une surchauffe.
(2) A une conductivité électrique élevée : il peut améliorer l’efficacité de conduction du courant pendant le processus de pulvérisation. Cela permet de réduire les pertes de résistance entre la cible et le système de pulvérisation magnétron, améliorant ainsi l'efficacité de la pulvérisation.
(3) Haute résistance mécanique : peut fournir un support stable. Cela permet de garantir que la cible ne se fissure pas en raison des vibrations ou des contraintes pendant le processus de pulvérisation.
(4) Pulvérisation uniforme : la plaque arrière en cuivre peut améliorer la répartition du champ électromagnétique de la cible, obtenant ainsi une pulvérisation plus uniforme et améliorant l'uniformité du film.
(5) Prolonger la durée de vie de la cible : en raison de la conductivité thermique élevée et de la conductivité électrique de la plaque de support en cuivre, la température de fonctionnement et la perte de résistance de la cible peuvent être réduites, ralentissant ainsi l'usure de la cible et prolongeant sa durée de vie. durée de vie.
3. Processus de liaison du fond de panier
(1) Prétraitez la surface de la cible et la cible arrière avant de la lier ;
(2) Fixez la cible arrière sur la table chauffante, placez la cible sur la plaque arrière et chauffez-la à la température de liaison ;
(3) métallisez la cible et la cible arrière, et soudez la cible à la plaque arrière en cuivre ;
(4) Collez la cible et la cible arrière, placez un contrepoids sur la surface de la cible loin de la plaque de support en cuivre et retirez le contrepoids une fois la cible refroidie ;
(5) Post-traitement de refroidissement.
