Cible de zirconium
Aperçu
La cible de zirconium est largement utilisée dans les champs de revêtement de pulvérisation, de fabrication de semi-conducteurs, de revêtement optique, de nouvelle énergie, etc. Les nano-coatations et les dispositifs quantiques continueront d'être démontrés .
Caractéristiques cibles de pulvérisation Zr
Bonnes performances à haute température
Le point de fusion du zirconium est aussi élevé que 1852 degré . Il peut maintenir une structure physique stable dans un environnement à haute température et n'est pas facile à faire fondre ou à déformer .
Fort stabilité chimique
Le zirconium peut résister à la corrosion à partir d'une variété d'acides forts, d'alcalis puissants et d'eau de mer à température ambiante, et un film de passivation de zro₂ dense se forme facilement à la surface pour éviter une nouvelle corrosion .
Excellentes propriétés électriques et optiques
Le zirconium peut conduire l'électricité et empêcher les ions métalliques de diffuser . l'oxyde de zirconium a un index de réfraction élevé et peut être utilisé pour préparer des revêtements optiques .
Fortes performances de pulvérisation
La pureté peut généralement atteindre au-dessus de 99 . 5%, et il peut déposer des films minces très uniformes ., il peut être transformé en cibles de différentes formes par le forgeage, le roulement et d'autres processus, et convient à différents équipements de pulvérisation.
Dimension cible du zirconium
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Grade |
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Technique |
Pressage isostatique chaud, raffinement des grains, frittage, forgeage, recuit |
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Pureté |
99.95% |
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Épaisseur |
3 mm -40 mm |
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Diamètre |
50-300 mm |
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Point de fusion |
1857 degré |
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Densité |
6,94g / cm3 |
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Forme |
Disque rond |
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Surface |
Polissage, broyage |
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Certification |
ISO9001 |
Application
La cible de pulvérisation en métal en zirconium est largement utilisée dans la microélectronique, l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs (préparation des électrodes de porte et des couches d'interconnexion métallique), l'industrie aérospatiale (composants à haute température et matériaux structurels), l'industrie optique et optoélectronique (films optiques à équité), et le champ d'énergie nucléaire du zirconium {. le champ nucléaire (CLAUDING MATOCILATIONS MATÉNIQUES MÉTALES {. Le champ d'énergie nulle Matériaux pour les réacteurs nucléaires), le champ médical (parties cibles des tubes à rayons X), les outils de fabrication mécaniques (revêtements résistants à l'usure) Supplies décoratives (revêtements esthétiques décoratifs) et autres industries .
Processus
Notre entreprise produit des cibles de zirconium de haute pureté grâce à la pressage en poudre, à la fusion à haute température, à la coulée de moisissure, à un roulement répété, à un traitement de polissage de surface, à un contrôle de qualité strict et à d'autres processus . La pureté et l'uniformité de la cible sont conformes aux exigences d'applications de haute technologie .
1. Métallurgie de poudre (processus commun)
Poudre: Sponge Zirconium est transformé en poudre de zirconium par écrasement mécanique, déshydrogénation d'hydrogénation (HDH) et d'autres méthodes .
Appuyez sur: le blanc cible est obtenu par un moulage à froid à froid ou à compression dans un moule .
Frittage: frittage à haute température dans une atmosphère sous vide ou inerte pour améliorer la densité .
2. Méthode de fusion et de coulée (applicable aux cibles de grande taille)
Maisse à arc sous vide: Les blocs de zirconium ou de zirconium éponge sont fondus dans un four à arc à vide pour éliminer les impuretés de gaz et coulées en lingots .
Forgeage et roulement: les lingots sont forgés à chaud et à froid pour améliorer l'orientation des grains et les transformer dans la forme souhaitée .
3. Usinage et traitement de surface
Couper en tailles spécifiées, et la surface est broyée et polie pour réduire la rugosité et éviter les défauts de surface affectant l'uniformité de la pulvérisation .
4. Inspection et emballage de qualité complète
Les films pulvérisés par la cible de pulvérisation Zirconium Z702 peuvent être divisés en catégories suivantes:
1. Nitrure de zirconium (zrn)
Couleur: jaune doré
Mécanisme de formation: La cible de zirconium est pulvérisée dans un environnement d'azote pour générer un revêtement de nitrure de zirconium (zrn) . La couleur dorée de ZRN provient principalement des caractéristiques de réflexion légère de sa structure cristalline .
Application: Le revêtement ZRN a les caractéristiques d'une dureté élevée, d'une bonne résistance à l'usure et d'une résistance à la corrosion, et est souvent utilisé dans les revêtements décoratifs, les outils de coupe et les moules .
2. Zirconium Carbonitride (ZRCN)
Couleur: noir profond
Mécanisme de formation: pulvériser des cibles de zirconium dans une atmosphère mixte d'azote et de méthane pour générer un revêtement de carbonitride de zirconium (zrcn) . augmentant la teneur en carbone fait le changement de couleur en noir tout en améliorant sa résistance de dureté et à l'usure .
Application: Le revêtement ZRCN est utilisé pour les outils de coupe haute performance et les pièces mécaniques résistantes à l'usure, offrant une excellente résistance à l'usure et à la corrosion .
3. Oxyde de zirconium (zro₂)
Couleur: transparent ou blanc
Mécanisme de formation: le revêtement PVD est effectué dans un environnement d'oxygène pour former un revêtement d'oxyde de zirconium (zro₂) . Zro₂ a une excellente stabilité thermique et des propriétés d'isolation électrique .
Application: le revêtement zro₂ est largement utilisé dans les environnements à haute température, les appareils électroniques et les céramiques médicales .
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Cas
Zirconium 702 Target de pulvérisation ronde, cible de zirconium aux Pays-Bas
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Qualification
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