La cible de pulvérisation fait référence à une source de pulvérisation qui est pulvérisée et déposée sur un substrat dans des conditions de traitement appropriées par pulvérisation magnétron, placage ionique multi-arc ou d'autres types d'équipement de revêtement pour former divers films fonctionnels. Selon la composition, les cibles peuvent être divisées en cibles métalliques pures, cibles en alliage, cibles en oxyde, cibles en siliciure, etc. ; selon leur forme, elles peuvent être divisées en cibles planes (cibles rectangulaires et cibles en arc) et cibles tubulaires. . Les cibles de pulvérisation cathodique sont largement utilisées dans de nombreux domaines tels que la décoration, les outils et moules, le verre, les appareils électroniques, les semi-conducteurs, l'enregistrement magnétique, les écrans plats, les cellules solaires, etc. Différents domaines nécessitent différents matériaux cibles.
1. Revêtement décoratif
Le revêtement décoratif fait principalement référence au revêtement de surface des téléphones mobiles, des montres, des lunettes, des appareils sanitaires, des pièces de quincaillerie et d'autres produits. Il joue non seulement un rôle dans l'embellissement de la couleur, mais présente également une résistance à l'usure, à la corrosion et d'autres fonctions. Les principales variétés de cibles pour le revêtement décoratif comprennent : la cible en chrome, la cible en titane, la cible en zirconium, la cible en nickel, la cible en tungstène, la cible en titane-aluminium, la cible en acier inoxydable, etc.
2. Revêtement de moules ou d'outils de traitement
Il est principalement utilisé pour le renforcement de surface des outils et des moules, ce qui peut améliorer considérablement la durée de vie des outils et des moules ainsi que la qualité des pièces traitées. Ces dernières années, sous l'impulsion du développement des industries aérospatiale et automobile, le niveau technique et l'efficacité de la production de l'industrie manufacturière mondiale ont fait de grands progrès, et la demande d'outils de coupe et de moules hautes performances augmente de jour en jour. Les principaux types de cibles utilisés pour le revêtement de moules comprennent : les cibles en titane-aluminium, les cibles en chrome, les cibles en titane, etc.
3. Revêtement de verre
L'application de matériaux cibles sur le verre consiste principalement à produire du verre à revêtement à faible rayonnement, qui utilise le principe de la pulvérisation magnétron pour pulvériser plusieurs couches de films minces sur le verre afin d'atteindre les fonctions d'économie d'énergie, de contrôle de la lumière et de décoration. Les principaux types de cibles comprennent : la cible en argent, la cible en chrome, la cible en titane, la cible en nickel-chrome, la cible en silicium-aluminium, la cible en oxyde de titane, etc. Une autre application importante des matériaux cibles sur le verre est la préparation de rétroviseurs automobiles, principalement en chrome. cibles, cibles en aluminium, cibles en oxyde de titane, etc. Alors que les exigences de qualité pour les rétroviseurs automobiles continuent d'augmenter, de nombreuses entreprises sont passées du processus de placage d'aluminium d'origine au processus de chromage par pulvérisation sous vide.
4. Revêtement d'appareil électronique
Les revêtements pour appareils électroniques sont principalement utilisés pour les résistances à couches minces et les condensateurs à couches minces. Les matériaux cibles pour les résistances à couches minces comprennent la cible NiCr, la cible nickel-chrome-silicium (NiCrSi), la cible chrome-silicium (CrSi), la cible tantale (Ta), la cible nickel-chrome-aluminium (NiCrA1), etc.
5. Revêtement d'écran plat
La croissance rapide de la demande de dispositifs d'affichage à écran plat provenant d'ordinateurs personnels portables, de téléviseurs, de téléphones mobiles, etc. a grandement favorisé le développement de divers types de dispositifs d'affichage à écran plat. Ses types comprennent : les dispositifs d'affichage à cristaux liquides (LCD), les dispositifs d'affichage à plasma (PDP), etc. Tous ces dispositifs d'affichage à écran plat utilisent différents types de films. Sans la technologie des couches minces, il n’y aurait pas d’écrans plats. Afin de garantir l'uniformité des revêtements sur de grandes surfaces, d'améliorer la productivité et de réduire les coûts, la technologie de pulvérisation cathodique est de plus en plus utilisée pour préparer ces revêtements. Les principaux types de cibles utilisés pour le revêtement des écrans plats comprennent : les cibles en chrome, les cibles en molybdène, les cibles en alliage d'aluminium, les cibles en cuivre, etc.
6. Revêtement semi-conducteur
Le développement rapide des technologies de l’information nécessite que les circuits intégrés soient de plus en plus intégrés. Chaque dispositif unitaire est composé d'un substrat, d'une couche isolante, d'une couche diélectrique, d'une couche conductrice et d'une couche protectrice. Parmi eux, la couche diélectrique, la couche conductrice et même la couche protectrice. Le processus de revêtement par pulvérisation cathodique est utilisé, de sorte que la cible de pulvérisation cathodique est l'un des matériaux de base pour la préparation des circuits intégrés. Les matériaux cibles pour le revêtement semi-conducteur nécessitent une pureté cible élevée, généralement supérieure à 4N ou 5N. Les principales variétés comprennent les cibles en tungstène-titane, en titane, en aluminium et en cuivre.
