Les cibles métalliques sont constituées d'un seul métal ou alliage métallique spécialement traité et raffiné pour répondre aux exigences de haute pureté et de microstructure spécifique. Les cibles métalliques courantes comprennent le cuivre, l'aluminium, l'argent, le titane et leurs alliages. Les cibles métalliques sont sélectionnées en fonction de leurs propriétés physiques et chimiques uniques pour optimiser les performances et l'efficacité des processus tels que l'implantation ionique et le dépôt de couches minces. Notre entreprise peut fournirCible de pulvérisation en titane Ti, Cibles de pulvérisation de zirconium à 99,95 %et cibles en chrome et autres cibles métalliques, si vous en avez besoin, veuillez nous envoyer un e-mail.
Les cibles en céramique sont composées de composés non métalliques de haute pureté, notamment des oxydes, des silicates, des nitrures, etc. Ces cibles sont préparées par des méthodes de frittage à haute température pour former des matériaux solides aux propriétés chimiques et physiques complexes. Leur composition unique leur confère une place irremplaçable dans les applications de haute technologie, notamment dans la fabrication de semi-conducteurs, de matériaux optoélectroniques et de technologie des couches minces.
1. Coût et difficulté de préparation
La préparation de cibles en céramique est difficile, non seulement en raison du processus de frittage à haute température requis, mais également en raison de la nécessité de contrôler sa pureté et sa microstructure pour garantir les performances du produit final. En revanche, le processus de fusion et de traitement des cibles métalliques est relativement simple, avec une plasticité élevée et un moulage et un traitement faciles.
Du point de vue du coût, les cibles métalliques sont généralement moins chères que les cibles en céramique en raison du processus relativement simple d'extraction, de traitement et de préparation du métal. Cependant, la préparation de cibles céramiques nécessite un processus plus complexe
2. Propriétés physiques et chimiques
En raison de leur structure chimique unique, les cibles en céramique ont généralement une dureté et un point de fusion plus élevés, ce qui les rend plus stables à haute température et conviennent aux processus de dépôt de film à haute température. Surtout dans les applications à haute température ou en environnement corrosif. Ils ne réagissent pas facilement avec d'autres éléments, conservant ainsi la pureté et la stabilité du matériau.
Les cibles métalliques conviennent à une variété d'exigences de préparation de formes complexes, notamment en termes de conductivité thermique et électrique bien supérieure aux cibles en céramique, ce qui les rend préférables dans les applications nécessitant une bonne gestion thermique et des propriétés électriques. Cependant, il peut s’oxyder ou se corroder dans certaines conditions.
3. Champ de candidature
Les cibles métalliques sont largement utilisées dans les situations où une bonne conductivité et conductivité thermique sont requises, telles que la préparation de films conducteurs, de films à réflexion spéculaire et la production de matériaux magnétiques. Leur excellente plasticité leur confère également un avantage dans la fabrication de cibles aux formes complexes.
En raison de leur grande pureté, de leur stabilité chimique et de leur point de fusion élevé, les cibles en céramique ont des applications uniques dans la fabrication de semi-conducteurs, le dépôt de couches minces à haute température et la préparation de matériaux photoélectriques. Ces applications nécessitent souvent des matériaux répondant à des normes de performances extrêmement élevées.
