Cibles de pulvérisation planaire en titane et silicium
Description des cibles de pulvérisation planaire en titane et silicium
Le siliciure de titane est un composé inorganique qui est généralement produit en utilisant des techniques de siliciure sur des lignes de silicium et de polysilicium pour réduire la résistance de feuille des connexions de transistor locales. Les cibles de pulvérisation planaire en titane et silicium sont généralement produites par la technologie HIP avancée, qui présente une série d'avantages tels qu'une dureté élevée, une faible usure, une excellente résistance aux chocs thermiques, une pureté élevée, un grain fin et uniforme, une longue durée de vie, une résistance élevée à l'oxydation et un revêtement élevé. qualité . Les cibles de pulvérisation planaire en titane et silicium sont un excellent matériau pour le revêtement métallique. Les outils de quincaillerie qui en sont revêtus sont très résistants à l'usure, de sorte qu'ils peuvent travailler à des vitesses de coupe élevées et peuvent même traiter des alliages de nickel et des matériaux en titane très durs. Les cibles de pulvérisation planaire en titane et silicium sont également très appropriées pour une application dans l'industrie des semi-conducteurs, la décoration, l'affichage, les dispositifs LED et photovoltaïques, le revêtement de verre et d'autres industries.
Spécifications des cibles de pulvérisation plane de titane et de silicium :
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Grade |
Ti85Si15, Ti80Si20, Ti75Si25, Ti70Si30, etc. |
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Technique |
Pressage isostatique à chaud, soudage, frittage, forgeage, recuit |
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Pureté |
99,8 pour cent |
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Épaisseur |
3mm-30mm |
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Longueur |
10mm-2000mm |
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Diamètre circulaire |
50-100mm |
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Densité |
4.17-4.4.g/cm3 |
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Taper |
Cible de pulvérisation plane |
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Forme |
Disques, plaques, cibles de colonne, cibles d'étape, sur mesure |
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Surface |
Poli, nettoyage alcalin, meulage, oxyde noir, etc. |
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Certificat |
ISO 9001 |
Images de cibles de pulvérisation planaire de titane et de silicium :


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