La cible en molybdène est une cible métallique spéciale en molybdène, principalement utilisée dans les domaines de haute technologie. Le molybdène, un métal blanc argenté, est connu pour son point de fusion élevé et sa bonne conductivité électrique et thermique, qui lui permettent de rester stable dans des environnements à haute température ou haute pression. Par conséquent, les cibles en molybdène jouent un rôle important dans la fabrication de semi-conducteurs, la technologie de dépôt de couches minces, l’industrie photovoltaïque et les équipements d’imagerie médicale. Les cibles en molybdène peuvent être produites par pressage isostatique à chaud (HIP), fusion, dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et dépôt physique en phase vapeur (PVD). Chaque méthode a ses propres caractéristiques et son champ d'application. Choisissez la technologie de préparation appropriée. Cela dépend de l'utilisation finale de la cible de molybdène requise, des performances requises et des considérations économiques.
Le support en cuivre lié améliore non seulement les performances cibles, mais contribue également à réduire les coûts d'exploitation, ce qui est particulièrement important pour les industries qui s'appuient sur des processus de dépôt de couches minces stables et à long terme. Il présente les avantages suivants :
1. Améliorer l'efficacité de la conductivité thermique : le cuivre a une conductivité thermique extrêmement élevée (environ 400 W/m·K), bien supérieure à celle du molybdène. La liaison de la cible en molybdène à la plaque de support en cuivre peut améliorer considérablement l'efficacité globale de conduction thermique de la cible. Lors des processus de revêtement à grande vitesse, cela permet d'évacuer plus rapidement la chaleur de la cible en molybdène, empêchant ainsi la surchauffe de la cible.
2. Réduire les contraintes thermiques : pendant le processus de dépôt, les contraintes thermiques sur le matériau cible peuvent provoquer des fissures et des fractures. La conductivité thermique élevée de la plaque de support en cuivre aide à disperser la chaleur uniformément et réduit la concentration de contraintes thermiques sur la cible en molybdène, réduisant ainsi les dommages induits par la chaleur.
3. Prolonger la durée de vie : en réduisant les contraintes thermiques et en améliorant l'efficacité thermique, la plaque arrière en cuivre peut prolonger considérablement la durée de vie de la cible en molybdène. Cette combinaison aide à prévenir l’usure prématurée de la cible ou les dommages pendant l’utilisation, ce qui entraîne un remplacement moins fréquent et des coûts à long terme inférieurs.
4. Améliorer la stabilité mécanique : L'ajout d'une plaque de support en cuivre améliore également la stabilité mécanique globale de la cible. Ceci est particulièrement important lors des processus de dépôt à grande vitesse, car cela permet de maintenir l’intégrité structurelle de la cible et de réduire les dommages dus aux chocs mécaniques ou aux vibrations.
5. Forte adaptabilité : cette méthode de liaison peut ajuster l'épaisseur et la forme du fond de panier en cuivre en fonction des différentes exigences d'application, offrant une plus grande flexibilité et adaptabilité. Cela permet aux cibles en molybdène de mieux répondre aux exigences des équipements et processus de dépôt spécifiques.
